День COMSOL 2017: Разработка тензорезисторных преобразователей в COMSOL /С.Попков НИИИС им.Седакова

Доклад посвящен численному инженерному моделированию МЭМС-компонентов. В работе рассматривается ряд этапов по проектированию чувствительного элемента (ЧЭ) или первичного преобразователя микродатчика давления. С использованием COMSOL Multiphysics® был проведен конечно-элементный расчет механических напряжений, вызванных термическим расширением и было исследовано влияние полученных деформаций на выходные характеристики. Рассмотрены результаты исследований механических напряжений