Установки плазменной обработки с двойным режимом: плазменное и реактивное ионное травление

В отличие от обычной вакуумной камеры Femtoscience inc. предлагает уникальную камеру, которая поддерживает равномерный поток газа внутри камеры независимо от положения. Двойной режим: режим PE (плазменное травление) & RIE (реактивное ионное травление) с двойным электродом. Подробнее об установках плазменного травления: